清らかな流れを守る兵庫県揖保川浄化センター
8/12

　酸素発生装置は、減圧２塔式（Vacuum pressure Swing Adsorption）が導入されている。VSAの酸素製造の原理は窒素吸着剤（モレキュラシーブ：合成ゼオライト）を使用し圧力差で吸着と脱着を行う。